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油迴轉真空幫浦 ROTARY PUMPVPC排氣系列

 

VPC-051(空冷型)

VPC-051A(空冷型自動型)

VPC-250F(空冷型)

極限壓力

1.5 X 10-4(使用液氮時)

1.5 X 10-4(使用液氮時)

10-5(使用液氮時)

7.0 X 10-4(未使用液氮時)

7.0 X 10-4(未使用液氮時)

10-4(未使用液氮時)

排氣系統

空冷油擴散幫浦 (DPF-050) 50L/sec

空冷油擴散幫浦 (DPF-050) 50L/sec

空冷油擴散幫浦 (DPF-050) 200L/sec

油旋片幫浦 (G-20DA) 20L/min

油旋片幫浦 (G-20DA) 20L/min

油旋片幫浦 (G-100D) 100L/min

主閥門25A蝴蝶閥

主閥門25A蝴蝶閥

主閥門25A蝴蝶閥

10A三向切換閥門

10A三向切換閥門

20A三向切換閥門

漏閥

漏閥

漏閥(氣體導入兼用)

真空計接口(18φ傳感器用)

真空計接口(18φ傳感器用)

真空計接口(18φ傳感器用)

電源

100V 1φ 0.6kVA

100V 1φ 0.6kVA

100V 1φ 1.35kVA

重量

16kg

16kg

50kg

外形尺寸

346mm()×316mm()×350mm()

346mm()×316mm()×350mm()

530mm()×480mm()×735mm()

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