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Semiconductor

  

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極薄ウェーハ


PDF (約112k)

豊富な実績と、信頼性の高い自動搬送系を搭載した装置のラインナップ

 

FeRAM


PDF (約132k)

次世代不揮発メモリの1つFeRAMの課題解決、量産化推進パッケージ

 

化合物半導体


PDF (約176k)

高度情報化社会のキィーデバイス製造に最先端技術を提供

 

Al 配線


PDF (約168k)

半導体チップ製造工程におけるAl配線プロセスの低コスト化?微細化対応ソリューション

 

Cu 配線


PDF (約268k)

最先端半導体チップ製造の不可欠課題、Cu/Low-kインテグレーションソリューション

 

高密度実装


PDF (約96k)

低コストで高密度なウェーハレベルパッケージ製造の提案

 

 

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